主要配置
电子枪：超高亮度冷场电子枪X-CFEG
加速电压范围：30-300 kV(配备60/120/300kV出厂合轴)
极靴型号：分析型大极靴S-TWIN 5.4mm
球差矫正器：双球差矫正器(S-CORR&CETCOR+)
能谱：全对称固定式Super-X能谱
STEM探头：Panther STEM探测系统
底插相机：高速高灵敏度CMOS相机Ceta-S
能量过滤系统：Gatan Continuum ER 1065
主要技术指标
STEM模式：50pm@300KV，100pm@60KV；
TEM模式：70pm@300KV，110pm@60KV；
能谱分辨率：≤136ev@10kcps，≤140ev@100kcps，Max≥200kcps
EELS能量分辨率：0.4eV
