发布日期：2025-10-11 浏览量：
用于样品微观形貌观测，同时具备精密定点离子束刻蚀、离子/电子束沉积功能，能谱及背散射衍射附件可实现微区成分分析、晶粒取向分布的测定。配备有冷却、加热及拉伸力学配件，可实现动态过程中的样品形貌及晶粒取向的观测。
主要技术参数：
电子東分辨率：0.9nm@15kV; 1.6nm@1.0kV
离子東分辨率：3nm@30 kV
加速电压范围：500V~30kV
冷/热台：-190℃-800℃
拉伸(压缩)台：最大载荷5000N
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