发布日期：2025-10-11 浏览量：
仪器用途：
可分析导体，半导体，绝缘材料的原子和分子组分
能测试所有元素(H~U)及其同位素
能鉴别高质量数的有机大分子
主要技术参数：
表面分析深度2nm，深度刻蚀速率25nm/min，横向空间分辨率50nm
低质量时质量分辨率：＞13，000
高质量时质量分辨率：＞17，000
绝缘材料质量分辨率：＞13，000
质量范围1~12000 amu以上
二次离子接收角≥21°
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