仪器用途：
材料表面元素定性及半定量分析;元素价态及价带分析;通过氩离子刻蚀可对样品进行深度剖析，并分析刻蚀过程中材料性质的线性变化。
主要技术参数：
分析器：180°双聚集半球分析器-128通道检测器
X射线源：铝Ka微聚集单色器-可获取的光斑大小(30至400um)
离子枪：能量范围100至4000eV
电荷中和：又束流-超低能量电子束
样品安装：四轴样品台-60×60mm样品区域-最大样品厚度20um
真空系统：2个220l/s涡轮分子泵用于进样室和分析室-自动开机，3灯丝TSP
数据系统：Avantage数据系统-过程许可-计算机
检测范围：能够检测到所有原子序数大于等于3(锂)的元素
检测深度：<10nm
