仪器用途：
测量材料纳米及微米尺度的硬度与弹性模量，可用于研究薄膜材料及纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑形功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。微米划痕测试仪测定膜厚度低于5微米的薄膜材料上膜与基体的结合强度，用于分析有机、无机、软质和硬质薄膜的破坏形式。
主要技术参数：
压痕部分：
超纳米压入(UNHT)/微米压入(MCT)
载荷范围：10uN-50mN(UNHT)/50mN-30N(MCT)
载荷分辨率：0.001UN(UNHT)/0.3mN(MCT)
最大压入深度：20um(UNHT)/200um(MCT)
压入深度分辨率：0.001nm(UNHT)/0.3nm(MCT)
划痕部分：
载荷范围：30mN-30N
载荷分辨率：0.3mN
最大划痕长度：120mm
最大摩擦力：30N
最大划痕深度：200um
