用于材料微区的高分辨二次电子像、背散射电子像观察等，配置四道谱仪，包括100mm全聚焦型晶体罗兰圆谱及140mm半聚焦型晶体罗兰圆谱仪，可实现材料微区的化学组成定性和定量分析。
主要技术参数：
SEI分辨率：3nm @0.1nA，40nm @10nA，100nm @100nA
空间分辨率优于0.1um;
束流范围0.01nA~500nA
束流稳定度≦±0.3%/h;
电子束位移≦1um/h
分析元素范围5B~92U;
分析精度：优于1%(主元素，含量大于5%)和
5%(次要元素，含量约为1%)
谱仪稳定性：计数率的重复性(给定波长位置)优于0.5%，峰位置重复性(同一分光晶体)优于0.5%，峰位置重复性(交换分光晶体后)优于1.5%
