发布日期：2025-10-11 浏览量：
多种探头DBS、STEM、MD、ICD、TLD及ETD用于样品微观形貌观测，具有低电压下分辨率超高的特点，同时可对样品进行精密加工，包括：离子束刻蚀、离子/电子束沉积、高质量定点刻蚀加工，配置能谱及背散射衍射系统可分析样品微区成分、测定晶粒取向分布。
主要技术参数
电子束分辨率：0.6nm@2kV;0.7nm@lkV;1.0nm@500V
离子束分辨率：4.0nm@30kV
STEM分辨率：0.6nm@30kV
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